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簡單介紹：
杭州微細形狀測定機ET1000KOSAKA小坂臺階儀臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面
詳情介紹：
杭州微細形狀測定機ET1000KOSAKA小坂臺階儀
臺階儀/膜厚儀ET10000產(chǎn)品參數(shù)
| 重現(xiàn)性 | 1σ 1nm |
|---|---|
| 測定范圍 | Z:100um |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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