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日本MIKASA旋轉涂布機中國代理
日期：2025-08-29 16:27
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摘要：
日本MIKASA MS-B100旋轉涂布機產品特點介紹：
■采用AC伺服電動機
1. 無刷式，不會造成無塵室污染。
2. 減少電動機發熱.也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚匡 現性的影響。
3. 電力消費低，減低環境的負擔。
■擴張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種樓式，更容易使用?
■所有機型皆標準配備數宇式真空計
■方形基板等可設定停止時位置.超方便
■**裝置機構（真空壓及蓋子）
1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時.可以變...
日本MIKASA MS-B100旋轉涂布機產品特點介紹：
■采用AC伺服電動機
1. 無刷式，不會造成無塵室污染。
2. 減少電動機發熱.也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚匡 現性的影響。
3. 電力消費低，減低環境的負擔。
■擴張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種樓式，更容易使用?
■所有機型皆標準配備數宇式真空計
■方形基板等可設定停止時位置.超方便
■**裝置機構（真空壓及蓋子）
1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時.可以變更**裝 罟機構（真空）的稼動壓力。
日本MIKASA MS-B200旋轉涂布機產品特點介紹：
功能
■采用AC伺服電動機
1. 無刷式，不會造成無塵室污染。
2. 減少電動機發熱，也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚再現性的彩購。
3. 電力消費低，減低環境的負擔。
■擴張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■所有機型皆標準配備數宇式真空計
■方形基板等可設定停止時位置，超方便
■**裝置機構（真空壓及蓋子）
1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機構（真空）的稼動壓力。
日本MIKASA MS-B200（密閉式）旋轉涂布機產品特點介紹：
■可減低因旋轉而產生的氣流不穩.均勻涂膜
■ EB光刻劑涂布效果佳
■低沸點溶劑涂布效果佳
■可減低光刻劑的使用量
日本MIKASA MS-B300旋轉涂布機產品特點介紹：
日本MIKASA MS-B300（密閉式）旋轉涂布機產品特點介紹：
日本MIKASA 標準滴下設備（氣動式）特點介紹：
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