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簡單介紹：
特征：帶有高功率UV照度和**的均勻度的6時代mobileLCD用掃描曝光機
適用中壓UV還有把光掩膜和吸附曝光薄膜的狀態下通過掃描散射曝光確保高品質的反轉曝光特性。
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LTPS LCD用掃描**曝光系統 光掩膜用掃描UV反轉曝光系統
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