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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀 橢圓偏振光測量儀 多功能橢偏儀 橢偏儀系統(tǒng)
詳情介紹：
塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品，聯(lián)系人：張小姐
聯(lián)系電話：15902189399
產(chǎn)品信息
特點
- 可在紫外可見（300~800nm）波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
- 納米級多層薄膜的厚度分析
- 使用 400ch 或更多多通道光譜快速測量橢圓光譜
- 通過可變反射角度測量支持薄膜的詳細(xì)分析
- 通過數(shù)據(jù)庫化光學(xué)常數(shù)和添加配方注冊功能，提高可操作性
測量項目
- 橢圓參數(shù)（tan= 、cosΔ）測量
- 光學(xué)常數(shù) （ n ： 折射率 ， k ： 消光系數(shù) ） 分析
- 厚度分析
測量對象
-
半導(dǎo)體晶圓
柵極氧化薄膜、氮化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
電阻的光學(xué)常數(shù)（波長色散） -
化合物半導(dǎo)體
鋁xGa(1-x)As 多層膜，非晶硅 -
FPD
對準(zhǔn)膜 -
各種新材料
DLC（Diamond Like Carbon）、超導(dǎo)薄膜、磁頭薄膜 -
光學(xué)薄膜
TiO2，SiO2，防反射膜 -
光刻領(lǐng)域
g 線 （436nm）、h 線 （405nm） 、i 線 （365nm） 等各波長的 n，k 評價
里·哈拉
將包含 s 波和 p 波的線性偏振光入射到樣品中，以測量反射光的橢圓偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅獨立變化，以獲得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，這是兩種偏振光的轉(zhuǎn)換參數(shù)，具體取決于樣品。
tan_ 和 cons_稱為橢圓參數(shù)，光譜橢圓測量測量這兩個參數(shù)的波長相關(guān)光譜。
手勢
| 類型表達(dá)式 | FE-5000S | FE-5000 |
| 樣本大小 | 高達(dá) 100x100mm | *大 200x200mm |
| 測量方法 | 旋轉(zhuǎn)分析儀*1 | |
| 測量膜厚范圍（nd） | 0.1nm～1μm | |
| 入射（反射）角度范圍 | 45～90° | 45～90° |
| 入射（反射）角度驅(qū)動方式 | 自動正弦桿驅(qū)動系統(tǒng) | |
| 入射點直徑*2 | φ2.0 | φ1.2sup*3 |
| tanψ測量精度 | ±0.01 或更少 | |
| cosΔ 測量精度 | ±0.01 或更少 | |
| 薄膜厚度的重復(fù)再現(xiàn)性 | 0.01% 或更少*4 | |
| 波長范圍*5 | 300～800nm | 300～800nm |
| 測量光源 | 高穩(wěn)定性 Xenon 燈*6 | |
| 舞臺驅(qū)動系統(tǒng) | 手動 | 手動/自動 |
| 加載器支持 | 不可以 | 是 |
| 尺寸、重量 |
650（W)×400（D)×593（H）mm 50kg |
1300（W)×890（D)×1750（H）mm 350kg*7 |
*1 偏振器可驅(qū)動，緩速板可拆卸，對不敏感帶有效。
*2 因短軸和角度而異。
*3 微點對應(yīng)（可選）
*4 使用 VLSI 標(biāo)準(zhǔn) SiO2 膜 （100nm） 時的值。
*5 選擇自動階段時的值。
上海地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀
浙江地區(qū)代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀
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